近日，臺積電在歐洲舉辦了一場技術(shù)論壇，吸引了眾多行業(yè)目光。在會上，該公司負(fù)責(zé)業(yè)務(wù)開發(fā)及全球業(yè)務(wù)的資深副總經(jīng)理張曉強(qiáng)發(fā)表了重要觀點，他透露，臺積電目前并未計劃在先進(jìn)制程中引入High NA EUV技術(shù)。
張曉強(qiáng)進(jìn)一步指出，臺積電最新推出的1.4nm級邏輯制程A14，即便沒有采用High NA EUV圖案化設(shè)備，其性能提升依然顯著。這一成果無疑增強(qiáng)了臺積電在先進(jìn)制程技術(shù)領(lǐng)域的信心。
他強(qiáng)調(diào)，臺積電的技術(shù)團(tuán)隊正致力于通過優(yōu)化工藝，充分發(fā)揮Low NA EUV的潛力，以期在現(xiàn)有技術(shù)路徑上取得更多進(jìn)展。只要這一方向能夠持續(xù)取得突破，臺積電就無需在量產(chǎn)中引入成本高昂的ASML High NA EUV系統(tǒng)。
值得注意的是，在先進(jìn)制程技術(shù)領(lǐng)域，英特爾曾是對High NA EUV技術(shù)最為積極的倡導(dǎo)者之一。然而，即便是英特爾，在實際生產(chǎn)中應(yīng)用High NA技術(shù)時也表現(xiàn)得相對謹(jǐn)慎。據(jù)悉，與臺積電A14同等名義制程的Intel 14A就提供了使用或不使用High NA的兩種選項，這進(jìn)一步體現(xiàn)了業(yè)界對于High NA EUV技術(shù)的審慎態(tài)度。
