英國南安普敦大學(xué)于4月30日宣布了一項(xiàng)重大決定，將在該校建立全球第二家電子束光刻工廠。這座工廠不僅標(biāo)志著日本境外首座同類設(shè)施的誕生，更讓歐洲迎來了首個(gè)尖端半導(dǎo)體工廠。
與當(dāng)前主流的激光圖案化技術(shù)相比，電子束光刻技術(shù)采用高能電子對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光，從而繪制出半導(dǎo)體電路圖案。這種技術(shù)因其卓越的分辨率和不依賴掩膜直接繪制的特性而備受矚目。然而，它也存在一些短板，如生產(chǎn)效率相對(duì)較低和控制過程復(fù)雜，因此在商業(yè)生產(chǎn)中多被用于輔助工藝，如掩膜制作，而非作為核心工藝技術(shù)。
在活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)，英國科技部國務(wù)大臣Patrick Vallance發(fā)表講話，對(duì)南安普敦大學(xué)的新電子束設(shè)施給予了高度評(píng)價(jià)。他表示，英國在半導(dǎo)體研究領(lǐng)域擁有眾多令人振奮的成果，而這座新設(shè)施將極大地提升英國在該領(lǐng)域的實(shí)力。
Vallance大臣進(jìn)一步強(qiáng)調(diào)，通過對(duì)基礎(chǔ)設(shè)施和人才的雙重投資，英國正在為研究人員和創(chuàng)新者提供開發(fā)下一代芯片所需的全方位支持。這一舉措不僅有助于推動(dòng)英國在半導(dǎo)體技術(shù)方面的進(jìn)步，還將為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入新的活力。
此次南安普敦大學(xué)電子束光刻工廠的建立，不僅是對(duì)英國半導(dǎo)體研究實(shí)力的肯定，更是對(duì)未來技術(shù)發(fā)展的前瞻布局。這一舉措有望為英國乃至全球的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來新的突破和發(fā)展機(jī)遇。
